제품 기능
Vigor VMB 밸브 매니 폴드 박스는 모듈 식 가스 분포 및 제어 시스템으로 고급 전자 등급 불활성 가스 (예 : CF₄, SF₆, AR, HE 등)를 위해 특별히 설계되었습니다. 다중 밸브, 지능형 모니터링 및 청정 객실 등급 어셈블리를 통합하여 배포 중 가스 순도, 안정성 및 안전성을 보장합니다. 반도체 제조, 태양 광 에너지 생산, 연구 실험실 및 정확한 가스 관리가 필요한 기타 분야에 널리 사용됩니다.
기술 사양
| 범주 | 매개 변수 세부 사항 |
|---|---|
| 모델: | VMB 밸브 매니 폴드 박스 |
| 해당 가스 : | 불활성 가스 (CFes, SF₆, CHF₃, AR, HE 등) |
| 가스 공급 모드 : | 단일 실린더 \/ 듀얼 실린더 구성 옵션 |
| 전원 공급 장치 : | 110 ~ 240V AC |
| 재료: | 밸브 및 튜브 구성 요소 : SS 316L |
| 보호 수준 : | 반 S2 준수, 부식 방지 디자인 |
핵심 기능 및 기능
효율적인 가스 분포
1)연속적이고 중단되지 않은 가스 공급을위한 옵션 자동 전환 기능을 갖춘 단일 실린더 또는 듀얼 실린더 구성을 지원합니다.
2) 복잡한 가스 분포 요구를 유연하게 충족시키기위한 내장 멀티 밸브 설계.
높은 청결과 봉인
1)밸브 및 튜브는 SS 316L 재료로 만들어집니다. 전체 시스템은 입자 오염을 방지하기 위해 클래스 100 클리닝 룸에 조립됩니다.
2) 헬륨 누출 감지 표준 : 유출 속도는 1 × 10⁻⁸ Mbar · l\/s보다 초고속 밀봉 요구 사항을 충족합니다.
지능형 제어
1)스마트 모니터링 플랫폼으로의 통합을위한 Modbus Communication 인터페이스를 지원하는 옵션 PLC 제어 시스템을 지원하여 원격 작동 및 데이터 관리를 가능하게합니다.
2) 직관적 인 사용자 인터페이스를 사용한 실린더 압력, 가스 유량 및 경보 상태의 실시간 모니터링을위한 터치 스크린 디스플레이.
다중 안전 보호
1)비상 가스 차단을 자동으로 트리거하는 고압 가청 및 시각적 경보.
2) 시스템 과압을 방지하기 위해 안전 완화 장치와 통합 된 선택적 환기 및 제거 기능.
3) 반 S2 표준 및 국제 화재 안전 코드를 준수하며 테스트 압력의 최대 110%까지 최대의 작업 압력이 있습니다.
애플리케이션
1)반도체 제조 :웨이퍼 에칭 및 증착 공정을위한 고순도 불활성 가스의 정확한 분포.
2)태양 광 산업 :태양 전지판 생산을위한 특수 가스 (예 : SF₆)의 안정적인 공급.
3)연구 실험실 :다 채널 가스 실험의 중앙 집중식 제어 및 관리.
4)생물 제약 산업 :멸균 환경에서 불활성 가스의 안전한 전송 및 분포.
그림
반자동
이 시스템에는 3\/8 "메인 라인 및 1\/4"브랜치 라인 (1 흡입구, 4 개의 콘센트)이 포함 된 자동 차단 및 퍼지 기능이 포함됩니다. PLC Control, 7- 인치 터치 스크린 인터페이스 및 지선 압력 조절이 특징입니다. 또한이 시스템에는 성능 향상을 위해 패널 표면 가열이 장착되어 있습니다.
Mannul
이 시스템에는 수동 가스 공급 및 프로세스 가스 제거 기능이 포함되어 있으며 3\/8 "메인 라인 및 1\/4"분기 라인 (1 흡입구, 4 개의 매장)이 포함됩니다. 최적의 제어를위한 지선 압력 조절이 특징입니다.
FAQ
Q1 : 시스템은 단일 및 듀얼 실린더 구성간에 어떻게 전환됩니까?
A : 듀얼 실린더 구성은 자동 전환을 지원합니다 (PLC 모듈 필요). 기본 실린더의 압력이 떨어지면 시스템이 자동으로 백업 실린더로 전환되어 지속적인 공급을 보장합니다.
Q2 : 가스 누출은 어떻게 감지됩니까?
A : 시스템 무결성은 헬륨 질량 분석법 누출 감지를 통해 검증됩니다. 일일 모니터링은 터치 스크린에 표시되는 비정상적인 압력 추세 또는 경보 프롬프트를 통해 수행 될 수 있습니다.
Q3 : 터치 스크린이 과거 데이터를 내보낼 수 있습니까?
A : 표준 터치 스크린은 실시간 데이터 디스플레이를 지원합니다. PLC 모듈이 장착 된 경우 USB 인터페이스 또는 통신 프로토콜 (예 : MODBU)을 통해 데이터를 CSV 형식으로 내보낼 수 있습니다.
Q4 : 권장 유지 보수주기는 무엇입니까?
A : 6 개월마다 밸브 밀봉 및 누출 속도를 검사하고 매년 압력 센서를 교정하는 것이 좋습니다. 고주파 사용 환경에서는 3 개월마다 검사를 수행해야합니다.
Q5 : 시스템이 부식성 가스를 지원합니까?
A :이 모델은 불활성 가스 용으로 설계되었습니다. 부식성 가스 (예 : HCL)를 처리 해야하는 경우 듀플렉스 스테인리스 스틸 재료와 특수 씰을 사용한 사용자 정의가 필요합니다. 자세한 내용은 기술 지원에 문의하십시오.
Q6 : 설치 중에 무엇을 고려해야합니까?
A : 깨끗하고 진동이없는 설치 환경, 예비 전력 및 배기 연결을 보장하고 가스 실린더 영역이로드 베어링 요구 사항 (500kg\/m² 이상)을 충족하는지 확인하십시오.
결론
Vigor VMB 밸브 매니 폴드 박스 (VMB)는 정밀 제어 및 엄격한 안전 표준을 통해 고급 가스 관리를위한 안정적인 솔루션을 제공합니다. 맞춤형 구성 또는 자세한 기술 사양은 공식 Vigor 서비스 팀에 문의하십시오.
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