INTEGRATED GAS SYSTEM>>IGS 제품 시리즈 공유
VIGOR는 반도체 제조 산업의 고순도 가스 제어를 위해 특별히 설계된 고급 통합 가스 시스템(IGS)(IGS)을{0}}제공합니다. 당사의 솔루션은 혁신적인 엔지니어링과 엄격한 제조 표준을 결합하여 중요한 응용 분야에서 신뢰성, 소형화 및 탁월한 성능을 보장합니다.
제품특징
- 반도체 산업의 가스 제어에 사용됩니다.
- 모듈형 디자인
- 모든 구성 요소는 SEM1 표준에 따라 표면 실장됩니다.
- 크기는 기존 패널의 약 1/3입니다.
- SEM1 표준재료, 전해연마 공정 및 오비탈 용접
- Wseal 및 C-seal 선택 사항
- 클린룸에서 이중 포장됨
- "브래킷"을 제외한 모든 제품은 모두 VS001A 공정 사양에 따라 생산됩니다.
IGS 압력 레귤레이터 VIR 시리즈
1. 최대. 작동 압력: 150psig
2. 최대. 작동 온도: -40도 F~140도 F(-40도 ~60도)
3. 출구 압력: 0~100 psig
4. 표면 마감: Max. 5uin. 라
5. 재질: 316L VIM-VAR
6. 밸브 시트: PCTFE(PFA/Vespel 옵션)
7. 흐름 용량: Cv=0.08
IGS 다이어프램 밸브 VID 시리즈
1. 최대. 작동 압력: 150psig
2. 최대. 작동 온도: PCTFE 14도 F~176도 F(-10도 ~80도); PFA 14도 F~302도 F(-10도 ~150도)
3. 막다른 골목이 없는 디자인
4. 젖은 표면은 EP, Max{1}}uin으로 처리됩니다. 라.
5. 재질: 316L VIM-VAR
6. 100% 헬륨-누출-테스트 완료
7. 흐름 용량: Cv=0.1
IGS 유량 제어 밸브 VIM 시리즈
1. 최대. 작동 압력: 150psig
2. 최대. 작동 온도: 14도 F~302도 F(-10도 ~150도)
3. 씰링: FKM
4. 젖은 표면은 EP, Max{1}}uin으로 처리됩니다. 라
5. 흐름 용량: Cv=0.03
IGS 체크 밸브 VICV 시리즈
1. 최대. 작동 압력: 150psig
2. 최대. 작동 온도: 14도 F~176도 F(-10도 ~80도)
3. 표면 마감: Max. 5uin. 라
4. 크래킹 압력: 0.33 psig
5. 흐름 용량: Cv=0.2
기판 VlB 시리즈(C-씰)
1. C-씰
2. 밀봉 효과를 보장하기 위해 비-고정 설치
3. 젖은 부분은 EP로 처리됩니다.
4. 표면조도 : Max. 5uin.Ra
5. 재질: 316L VIM-VAR
핵심 제품 시리즈
- IGS 압력 레귤레이터(VIR 시리즈)
- IGS 다이어프램 밸브(VID 시리즈)
- IGS 유량 제어 밸브(VIM 시리즈)
- IGS 체크 밸브(VICV 시리즈)
- IGS 기판 및 브래킷(VIB 시리즈)
- 개스킷(VIG 시리즈)
VIGOR IGS를 선택하는 이유는 무엇입니까?
당사 시스템은 정밀 엔지니어링과 실제 설계의 시너지 효과를 나타내며 다음을 제공합니다.
- 공간 효율성: 패널 크기가 대폭 감소되었습니다.
- 초-고순도: 반도체-등급 응용 분야에 맞게 맞춤화된 재료 및 프로세스입니다.
- 모듈식 유연성: 구성, 확장 및 유지 관리가 쉽습니다.
- 입증된 신뢰성: 엄격한 테스트 및 SEMI-표준 준수.
VIGOUR에서는 단순한 구성 요소 그 이상을 제공합니다.{0}}우리는 귀하의 아이디어를 자신감 있고 정확하게 구현하는 통합 솔루션을 제공합니다.
