VIGOUR>>고급 가스 공급 시스템을 위한 신뢰할 수 있는 파트너

특수 가스 랙
VGR 시리즈

• 전자-등급 벌크 가스를 지속적이고 중단 없이 안전하게 공급합니다.
• 안전 압력 완화 기능을 갖춘 선택적인 환기 및 퍼지 기능.
• 클래스 100 클린룸 용접 조립.
• 지능형 모니터링 플랫폼 시스템으로 액세스할 수 있는 통신 인터페이스를 갖춘 선택적 PLC 제어.
• 긴급 차단이 가능한 청각 및 시각적 신호를 갖춘 고압/저압 경보.
• 실린더 압력 및 기타 데이터를 표시하는 터치스크린 디스플레이.
• 유형: 특수 가스 제어 랙
• 재질: 밸브 및 배관 부품용 SS 316L
• 적용 가스: 불활성 가스(Ne, Kr, Ar, He 등)
• 가스 공급 방식: 가스 실린더
• 전력 공급: 110~240VAC
• 구성: 단일-실린더, 이중-실린더

특수 가스 캐비닛
VGC 시리즈

• 유형: 특수 가스 캐비닛
• 재질: 밸브 및 배관 부품용 SS 316L
• 적용 가능한 가스: 인화성/자기 점화성 가스-, 부식성 가스, 독성 가스(예: SiH4, HCL)
• 전원 공급 장치: 110~240V AC
• 인클로저: 부식-저항성 용접 강철
• 유리창: 자동-닫힘
• 배기관: 상단-장착 배기관
• 제품 응용 분야: 대학/연구 실험실; 산업 제조업; 태양광 태양 에너지; 제약 및 생명공학; 반도체 집적회로 제조
• 설계 표준: SEMI S2 표준을 준수합니다. 국제 건물 화재 안전 규정을 준수합니다. 최대 사용 압력: 보증 시험 압력의 110%

가스 스틱 어셈블리

VUP 시리즈

• 모든 가스배달 시스템을 위한 초고순도 가스스틱

100TG: 30 slpm 이하 전달 1/4"VFS

200TG: 300 slpm 이하 전달 3/8"VFS

300TG: 600 slpm 이하 전달 1/2"VFS

• VS001A 공정 사양에 맞춰 제작된 제품입니다.
• 높은 제어 정확도
• 모든 연결부 용접 또는 VFS
• 수동 또는 공압 다이어프램 밸브 옵션
• 100% 헬륨-누출-테스트 완료
• 입구 압력 P1: 300psig(20bar)
• 출구 압력 P2: Vac ~ 30/60/100/150psig(1/2/4/7/10bar)
• 다이어프램 밸브 재질: 본체 316L; 밸브 시트 PCTFE; 다이어프램 Elgiloy®
• 조절기 재료: 본체 316L/316L 2차 재용해; 밸브 시트 PCTFE; 다이어프램 Hastelloy®
• 누출율: (대기 중) 1x10^-9 mbar I/s He;

(좌석 이용) 1x10^-8 mbar I/s H

압력 제어 패널

VUP-1U 시리즈

• 압력제어반(단면형)
• VSR-100UBS/UCS 시리즈 단일 스테이지 레귤레이터
• VDV33UBS 시리즈 벤트 다이어프램 밸브
• VDV33UBS 시리즈 입구 프로세스 다이어프램 밸브
• 궤도 용접 VFS-면 밀봉 연결부
• 모듈형 디자인
• 최대 3500psig(250bar)의 입구 압력에 적합
• 가스 실린더용 안전 캐비닛에 쉽게 설치 가능
• 100% 헬륨 누출 테스트 완료
• 입구 압력 P1: 최대 3500psig(250bar)
• 출구 압력 P2: Vac ~ 10/30/60/100/150psig(0.7/2/4/7/10bar)
• 표면 마무리: 10uin. Ra (25uin. Ra는 선택사항)
• 입구 및 출구: 1/4" VFS 피팅
• 온도 범위: -40F ~ +160°F(-40도 ~ +71도)
• 흐름 용량: Cv=0.09(Cv=0.15 옵션)